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       為滿足國內(nèi)實驗室對小型離子氮化爐的需求，我所新近相繼研制出LDMC-5型脈沖電源輝光離子氮化爐和LD-5型直流電源離子氮化多用爐，爐體有效氮化空間均為Φ200×300，適宜于試樣的試驗研究和單個小型工件的試驗研究。其中，LD-5型直流電源離子氮化多用爐輸出電壓0-3000V可調(diào)，除可進行離子氮化工藝試驗研究外，還可進行離子化學(xué)氣相沉積（PCVD）等試驗研究。

　　目前，包括上海大學(xué)在內(nèi)的幾家單位已訂購此類小型氮化爐用于試驗研究工作。