離子滲氮法是由德國人B.Berghaus于1932年發(fā)明的。該法是在0.1～10Torr（Torr = 133.3 Pa）的含氮氣氛中，以爐體為陽極，被處理工件為陰極，在陰陽極間加上數(shù)百伏的直流電壓，由于輝光放電現(xiàn)象便會產(chǎn)生象霓紅燈一樣的柔光覆蓋在被處理工件的表面。此時，已離子化了的氣體成分被電場加速，撞擊被處理工件表面而使其加熱。同時依靠濺射及離子化作用等進行氮化處理。
離子氮化法與以往的靠分解氨氣或使用氰化物來進行氮化的方法截然不同，作為一種全新的氮化方法，現(xiàn)已被廣泛應用于汽車、機械、精密儀器、擠壓成型機、模具等許多領(lǐng)域，而且其應用范圍仍在日益擴大。
離子氮化法具有以下一些優(yōu)點：
①由于離子氮化法不是依靠化學反應作用，而是利用離子化了的含氮氣體進行氮化處理，所以工作環(huán)境十分清潔而無需防止公害的特別設(shè)備。因而，離子氮化法也被稱作二十一世紀的“綠色”氮化法。
?、谟捎陔x子氮化法利用了離子化了的氣體的濺射作用，因而與以往的氮化處理相比，可顯著的縮短處理時間（離子滲氮的時間僅為普通氣體滲氮時間的1/3～1/5）。
?、塾捎陔x子氮化法利用輝光放電直接對工件進行加熱，也無需特別的加熱和保溫設(shè)備，且可以獲得均勻的溫度分布，與間接加熱方式相比加熱效率可提高2倍以上，達到節(jié)能效果（能源消耗僅為氣體滲氮的40～70％）。
?、苡捎陔x子氮化是在真空中進行，因而可獲得無氧化的加工表面，也不會損害被處理工件的表面光潔度。而且由于是在低溫下進行處理，被處理工件的變形量極小，處理后無需再行加工，極適合于成品的處理。
⑤通過調(diào)節(jié)氮、氫及其他（如碳、氧、硫等）氣氛的比例，可自由地調(diào)節(jié)化合物層的相組成，從而獲得預期的機械性能。
?、揠x子氮化從380℃起即可進行氮化處理，此外，對鈦等特殊材料也可在850℃的高溫下進行氮化處理，因而適應范圍十分廣泛。
?、哂捎陔x子氮化是在低氣壓下以離子注入的方式進行，因而耗氣量極少（僅為氣體滲氮的百分之幾），可大大降低處理成本。