一、硬度偏低
生產(chǎn)實踐中，工件滲氮后其表面硬度有時達不到工藝規(guī)定的要求，輕者可以返工，重者則造成報廢。造成硬度偏低的原因是多方面的：有設備方面的原因，如系統(tǒng)漏氣造成氧化；有選材方面的原因，如材料選擇不恰當；有前期熱處理方面的原因，如基本硬度太低，表面脫碳等；有工藝方面的原因，如滲氮溫度過高或過低，時間短或氮勢不足而造成滲層太薄等等。只有根據(jù)具體情況，找準原因，問題才會得以解決。
二、硬度和滲層不均勻
裝爐方式不當，氣壓調(diào)節(jié)不當（如供氣量過大），溫度不均，小孔、窄縫未屏蔽造成局面過熱等均會造成硬度和滲層不均勻。
三、變形超差
變形是難以杜絕的，對易變形件，采取以下措施，有利于減小變形。滲氮前應進行穩(wěn)定化處理（處理次數(shù)可以是幾次）直至將滲氮前的變形量控制在很小的范圍內(nèi)（一般不應超過滲氮后允許變形量的50％）；滲氮過程中的升、降溫速度應緩慢；保溫階段盡量使工件各處的溫度均勻一致。對變形要求嚴格的工件，如果工藝許可，盡可能采用較低的氮化溫度。
四、處觀質(zhì)量差
滲氮件出爐后首先用肉眼檢查外觀質(zhì)量，鋼鐵零件經(jīng)滲氮處理后表面通常呈銀灰色或暗灰色（不同材質(zhì)的工件，離子氮化后其表面顏色略有區(qū)別），鈦及鈦合金件表面應呈金黃色。離子滲氮后工件表面不應有明顯的電弧燒傷和剝落等缺陷，這些要求在正常情況下是完全可以達到的。不正常的滲氮顏色有以下一些情況：
?。薄⒈砻骐娀齻褐饕怯捎诠ぜ砻?、工件上的小孔中或焊接件的空腔內(nèi)及組合件的接合面上存在含油雜質(zhì)，引起強烈弧光放電所致。
?。病⒈砻鎰兟淦鹌ぃ寒a(chǎn)生起皮的機理還不十分清楚，但在生產(chǎn)實踐中，工件表面清理不凈、脫碳或氣份中含氧量過多、氮化溫度過高等有時會產(chǎn)生起皮。
?。?、表面發(fā)藍或呈紫藍色
這是氧化造成的，如果氧化是在滲氮結(jié)束后停爐過程中產(chǎn)生的，則僅影響外觀質(zhì)量，對滲層硬度、深度無影響。如果氧化是在滲氮過程中產(chǎn)生的，則將不僅影響到產(chǎn)品外觀，而且將直接影響到滲層硬度和深度。
表面發(fā)藍的原因可能有：爐子系統(tǒng)漏氣，氣氛中含水及含氧量過多；工件各處的溫度不均勻，溫度過低的部位由于滲氮較弱而呈綠色；冷卻時工件各部位冷速不一致，冷得慢的部位可能呈藍色。
４、表面發(fā)黑
這對將滲氮作為最后一道工序的零件將影響外觀，但一般不影響滲層硬度和深度。產(chǎn)生這種現(xiàn)象的原因可能是：爐子系統(tǒng)漏氣，氣氛中含水量及含氧量過高；溫度過高；工件上的油污及氧化皮未去凈等。
五、脈狀氮化物
脈狀氮化物通常又俗稱脈狀組織，是指擴散層中與表面平行走向呈白色波紋狀的氮化物。其形成機理尚無論，一般認為與合金元素的晶界偏聚及氮原子的擴散有關。因此，控制合金元素偏聚的措施均有利于減輕脈狀氮化物的形成。工藝參數(shù)方面，滲氮溫度越高，保溫時間越長，越易促進脈狀組織的形成，如工件的棱角處，因滲氮溫度相對較高，脈狀組織比其它部位嚴重得多。